名称：场发射透射电子显微镜（FETEM）
型号：JEM-2100F
厂商：日本电子株式会社
主要性能指标：
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分辨率 |
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点分辨率 |
0.19nm |
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线分辨率 |
0.1nm |
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加速电压 |
200kV |
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加速电压最小步长 |
50V |
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束斑尺寸（直径） |
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TEM 模式 |
2~5nm |
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EDS/NBD/CBD 模式 |
0.5~2.4nm |
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会聚束电子衍射（CBED） |
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会聚角(2a) |
1.5~20 mrad |
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接受角 |
±10° |
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放大倍数 |
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LOW MAG 模式 |
×50~6,000 |
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MAG 模式 |
×2,000~1,500,000 |
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SA MAG 模式 |
×8,000~800,000 |
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相机长度 |
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SA DIFF模式 |
80~2,000mm |
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HD衍射模式 |
4~80m |
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HR衍射模式 |
333m |
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样品室 |
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X、Y方向样品平移 |
2mm |
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Z方向样品平移 |
±0.1mm |
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样品倾斜角度 |
X; ±25°，Y; ±25° |
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扫描透射装置(STEM) |
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明场像分辨率 |
0.2nm |
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X射线能谱分析 |
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固体角 |
0.13sr |
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取出角 |
25° |
仪器功能：
1．TEM明、暗场成像观察；
2．超高分辨晶格像观察；
3．STEM明场、HAADF暗场成像观察；
4．选区电子衍射；
5．汇聚束和纳米束电子衍射；
6．EDS微区化学元素分析；
7．EDS元素线扫描和面扫描像（mapping像）。
应用范围：
1． 材料微观组织、形貌、尺度等显微结构观察和分析；
2． 物相晶体结构、缺陷及取向关系检测和分析；
3． 材料微区化学元素组成和分布检测和分析。
